1、温度稳定性好。电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，这有利于选择温度系数低的材料。又因本身发热极小，影响稳定性甚微。而电阻传感器有铜损，易发热产生零漂。

2、结构简单。电容式传感器结构简单，易于制造和保证高的精度。可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中。可以承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。

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